Инновационная технология формирования нанокристаллических покрытий из сложных тройных и четверных нитридных систем тантала, вольфрама, молибдена, алюминия и циркония разработана учеными Института Ядерной Физики. Руководитель проекта - к.ф.-м.н. Ю.Ж.Тулеушев.
При помощи метода магнетронного осаждения отработаны технологические режимы получения покрытий тройных нитридов Ta-W-N, Ta-Mo-N, Ta-Zr-N, Ta-Al-N, W-Mo-N и W-Zr-N, а также покрытий четверных нитридов Ta-W-Mo-N, Ta-W-Zr-N, W-Mo-Zr-N, и W-Zr-Al-N. Работа позволила в совокупности разработать общие физические основы создания новых видов высокотвердых химически- и износостойких защитных покрытий. Область применения: защитные покрытия для изделий и оборудования, эксплуатируемых в жестких агрессивных средах.

Источник: Отдел по связям с общественностью АО «НЦНТИ»