Синтез и исследование нанокристаллических материалов для создания селективных сенсоров токсичных газов и взрывчатых веществ
Full Name of the work head: Ю.В.Горелкинский
Исполнители проекта: Д.М.Мухамедшина
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0205РК00011
Registration number: 0104РК00306
Keywords: Пленочные материалы, Наноструктуры, Сенсоры, Полупроводники,
Синтезированы наноструктурные тонкие пленки диоксида олова. Исследованы физические свойства (оптические, электрические, рентгено-структурные) пленок при взаимодействии с различными молекулами в газовой фазе. Установлены технологические условия воспроизведения характеристик металлооксидных селективных, чувствительных, стабильных наноструктур. Разработан технологический регламент получения газочувствительных пленок диоксида олова.