Разработка технологии получения высокочистого кремния плазмохимическим методом
Full Name of the work head: А.В.Протопопов
Исполнители проекта: Л.С.Протопопова
: Юж.-Каз. гос. ун-т им. М.О. Ауэзова
Inventory number: 0204РК01093
Registration number: 0104РК00317
Keywords: Кремний, Плазменные технологии, Чистые вещества, Поликристаллический кремний,
Разработана технология получения высокочистого поликристаллического кремния восстановлением его из кварцитов. Спроектирована и изготовлена плазменная лабораторная печь. Определены технологические параметры процесса восстановления кремния: температура - 1900 {o}C, давление - 0,1-0,15 МПа, концентрация СО в восстановительной среде - 40-60 %.
