ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка технологии получения высокочистого кремния плазмохимическим методом

Жетекшінің аты-жөні, тегі: А.В.Протопопов
Work head: Л.С.Протопопова
: Юж.-Каз. гос. ун-т им. М.О. Ауэзова
Инвентарлық номер: 0204РК01093
Тіркелген номер: 0104РК00317
негізгі сөздер: Кремний, Плазменные технологии, Чистые вещества, Поликристаллический кремний,