Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка технологии получения высокочистого кремния плазмохимическим методом

Руководитель проекта: А.В.Протопопов
Исполнители проекта: Л.С.Протопопова
Организация: Юж.-Каз. гос. ун-т им. М.О. Ауэзова
Инвентарный номер: 0204РК01093
Регистрационный номер: 0104РК00317
Ключевые слова: Кремний, Плазменные технологии, Чистые вещества, Поликристаллический кремний,