Исследование возможности создания СВЧ-приборов на основе свободных монокристаллических плёнок арсенида галлия-алюминия
Full Name of the work head: Т.И.Таурбаев
Исполнители проекта: В.С.Антощенко
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0204РК00764
Registration number: 0104РК00238
Keywords: Эпитаксия, Пленочные материалы, Арсенид галлия, Монокристаллический арсенид галлия,
Методом жидкофазного эпитаксиального выращивания получены свободные монокристаллические плёнки AlGaAs и тонкоплёночные гетероструктуры GaAs/AlGaAs. Определены технологические режимы роста плёнок и влияние условий кристаллизации на состав и варизонность. Область применения: СВЧ-, микро- и оптоэлектроника.
