Объект исследования: антиотражающие структуры кремний - многослойное просветляющее покрытие. Создана математическая модель антиотражающего покрытия на основе градиентного слоя. Выведены зависимости коэффициента отражения от толщины градиентного слоя для различных профилей сопряжения подложки с окружающей средой. Определена оптимальная толщина градиентного слоя при наличии поглощения в слое и материале фотопреобразователя. Изучены оптические и структурные свойства одно- и двухслойных плёнок из TiO[2] и Al[2]O[3], полученных методом реактивного магнетронного распыления. Плёнки TiO[2] имеют анатазную структуру, плёнки Al[2]O[3] являются аморфными. С повышением плотности разрядного тока осаждаются плёнки с более высоким коэффициентом преломления. Плёнки TiO[2] и Al[2]O[3] позволяют создать двухслойное антиотражающее покрытие со средним коэффициентом отражения не более 3 % в спектральном диапазоне 0,4-1,1 мкм. Отработаны режимы создания омических контактных структур к фронтальной и тыльной сторонам солнечных элементов.