Разработка технологии получения высокочистого поликристаллического кремния силановым методом
Full Name of the work head: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: М.Ф.Тамендаров
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0204РК00546
Registration number: 0104РК00062
Keywords: Кремний, Полупроводники, Алюминотермия, Силан, Кремнезем, Шлаки, Фосфорные шлаки, Чистые вещества,
Цель: синтез силана путем восстановления кремнезема жидких фосфорных шлаков алюминием, получение высокочистого кремния. Определены условия восстановления кремнезема в фосфорных шлаках. Обнаружено, что в системах Si-CaO и Si-SiO[2] концентрация бора в конденсированном состоянии снижается за счет образования летучих оксидов бора. Проведены плавки в промышленной индукционной печи. Методом алюминотермии получены технический кремний и активные кремниевые сплавы (180 кг). Элементный анализ показал высокую чистоту кремния. Разработаны конструкция и техническая документация опытно-промышленной установки гидрохимической очистки металлургического кремния.
