Исследование процессов образования собственных и нанокластерных дефектов, структурно-фазовых превращений и их влияния на электронные свойства алмазоподобных и низкокоординированных конденсированных сред
Full Name of the work head: Ш.Ш.Сарсембинов
Исполнители проекта: О.Ю.Приходько
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0203РК00777
Registration number: 0103РК00703
Keywords: Кластеры, Конденсированные среды, Дефекты кристаллических структур, Структурно-фазовые превращения, Полупроводники, Пленочные материалы, Халькогениды, Магнетронное напыление,
Объект исследования: алмазоподобные и низкокоординированные конденсированные среды на основе углерода и аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников бинарных стехиометрических составов As[2]Se[3] и As[2]S[3]. Разработан математический алгоритм процесса напыления алмазоподобных пленок углерода с разной степенью упорядоченности структуры. Предложен технологический метод дифференциального магнетронного напыления углеродных пленок. Показано, что методом ионно-плазменного магнетронного распыления графитовой мишени в атмосфере смеси Ar+H[2] можно получать аморфные пленки углерода с разной структурной модификацией - от алмазо- до графитоподобных. Аморфные пленки As[2]Se[3] и As[2]S[3], полученные при различных условиях парообразования и конденсации атомов, отличаются микроструктурой, параметрами ближнего и среднего порядка в расположении атомов, структурой локального порядка и электронными свойствами. Неупорядоченные системы различаются структурой локального порядка и протяженностью областей среднего порядка. При более неравновесных условиях формирования твердой фазы получаются системы с большей степенью разупорядоченности структуры.