Разработка полупроводникового цветорегистрирующего устройства
Full Name of the work head: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0203РК00722
Registration number: 0101РК00684
Keywords: Цветодатчики, Фотодетекторы, Полупроводники, Кремний, Аморфный кремний, Монокристаллический кремний, Тонкопленочные материалы,
Объект исследования: цветорегистрирующее устройство, состоящее из полупроводникового датчика цвета, оптической системы освещения объекта, электронной системы регистрации выходного сигнала цветодатчика. Отработаны технологии изготовления полупроводниковых материалов и приборных структур на основе монокристаллического кремния, арсенида галлия, аморфного кремния и аморфного карбида кремния, выращенных методами диффузии, быстрого термического отжига, жидкостной эпитаксии, магнетронного распыления. Проведено моделирование физических процессов в тонкопленочных датчиках. Изготовлены образцы полупроводниковых цветодатчиков. Разработаны опытный образец и электронная схема цветорегистрирующего устройства.
