Разработка полупроводникового цветорегистрирующего устройства
Руководитель проекта: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарный номер: 0203РК00722
Регистрационный номер: 0101РК00684
Ключевые слова: Цветодатчики, Фотодетекторы, Полупроводники, Кремний, Аморфный кремний, Монокристаллический кремний, Тонкопленочные материалы,
Объект исследования: цветорегистрирующее устройство, состоящее из полупроводникового датчика цвета, оптической системы освещения объекта, электронной системы регистрации выходного сигнала цветодатчика. Отработаны технологии изготовления полупроводниковых материалов и приборных структур на основе монокристаллического кремния, арсенида галлия, аморфного кремния и аморфного карбида кремния, выращенных методами диффузии, быстрого термического отжига, жидкостной эпитаксии, магнетронного распыления. Проведено моделирование физических процессов в тонкопленочных датчиках. Изготовлены образцы полупроводниковых цветодатчиков. Разработаны опытный образец и электронная схема цветорегистрирующего устройства.
