Исследование и разработка тонких пленок различного функционального назначения для применения в фотовольтаике, оптоэлектронике и детекторах
Full Name of the work head: С.Ж.Токмолдин
Исполнители проекта: С.Ж.Токмолдин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0203РК00872
Registration number: 0101РК00636
Keywords: Пленочные материалы, Тонкопленочные материалы, Кремний, Пористый кремний, Оксидные пленки металлов, Фазовые переходы,
Исследованы: технологические режимы роста тонких оксидных пленок; электронное состояние в субмикронных пленках оксида кремния на поверхности пористого кремния; влияние внешних полей на процессы фазовых превращений в углеродных структурах; поведение водорода на границе раздела оксид кремния - пористый кремний. Показано, что медь, насыщенная водородом, является наиболее приемлемым материалом буферного слоя для эпитаксиального роста алмазоподобных пленок.
