Разработка прозрачных, проводящих тонкопленочных покрытий n- и p-типа на основе оксидов металлов
Full Name of the work head: С.Ж.Токмолдин
Исполнители проекта: С.Ж.Токмолдин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0203РК00871
Registration number: 0103РК00727
Keywords: Тонкопленочные материалы, Оксидные пленки металлов, Полупроводники, Пленочные материалы,
Объект исследования: тонкие пленки оксидов металлов (олово, цинк), осажденные ионно-лучевым и магнетронным распылением на подложки из различных материалов. Определены режимы роста и отжига, роль газовой атмосферы при отжиге, влияние технологических режимов формирования пленок на их оптические, электрические и структурные свойства. Отработаны технологические режимы гетеропереходов CdS/CdTe.
