Производство полупроводниковых сенсоров газа и индикационных устройств на их основе
Руководитель проекта: А.И.Поляков
Исполнители проекта: Д.М.Мухамедшина
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0202РК01014
Регистрационный номер: 0101РК00643
Ключевые слова: Сенсоры, Индикаторы, Полупроводники, Пленочные материалы, Тонкопленочные материалы,
Разработаны сенсоры газа на основе тонких пленок оксида олова, осажденных магнетронным распылением на подложки из поликора. Изготовлена опытная партия индикационных устройств для обнаружения утечек газа.