Производство полупроводниковых сенсоров газа и индикационных устройств на их основе
Full Name of the work head: А.И.Поляков
Исполнители проекта: Д.М.Мухамедшина
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0202РК01014
Registration number: 0101РК00643
Keywords: Сенсоры, Индикаторы, Полупроводники, Пленочные материалы, Тонкопленочные материалы,
Разработаны сенсоры газа на основе тонких пленок оксида олова, осажденных магнетронным распылением на подложки из поликора. Изготовлена опытная партия индикационных устройств для обнаружения утечек газа.
