Процессы структурообразования и эволюции в тонкопленочных полупроводниковых средах
Full Name of the work head: Сарсембинов Ш.Ш.
Исполнители проекта: О.Ю.Приходько
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0202РК00842
Registration number: 0100РК00326
Keywords: Полупроводники, Пленочные материалы, Тонкопленочные материалы,
Исследовано влияние параметров магнетронного распыления на электронные свойства пленок аморфного алмазоподобного углерода, модифицированного примесью серебра. Установлена возможность управления электронными и оптическими свойствами пленок путем примесной модификации.
