ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка научных основ технологии получения тонкопленочных структур, приборов различного функционального назначения и высокочистых веществ

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Мукашев Б.Н.
Work head: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0202РК00729
Тіркелген номер: 0100РК00213
негізгі сөздер: Полупроводники, Высокочистые вещества, Особо чистые вещества, Тонкие пленки, Пленочные структуры, Кремний, Силан,