Процессы структурообразования и эволюции в тонкопленочных полупроводниковых средах
Full Name of the work head: Сарсембинов Ш.Ш.
Исполнители проекта: О.Ю.Приходько
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0201РК00805
Registration number: 0100РК00326
Keywords: Полупроводники, Пленочные полупроводники, Структура твердых тел, Аморфные вещества, Магнетронное распыление, Подложки, Пленки углерода,
Исследовано влияние технологических параметров процесса магнетронного распыления при получении пленок аморфного гидрогенизированного углерода. Установлено, что температура подложки является определяющим фактором структурной самоорганизации при росте пленок. Изменяя температуру подложки, можно получать аморфные пленки углерода с разной структурной модификацией - от алмазо- до графитоподобных.
