Разработка полупроводникового цветорегистрирующего устройства
Full Name of the work head: Сванбаев Е.А.
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0201РК00760
Registration number: 0101РК00684
Keywords: Полупроводники, Цветодатчики, Кремний, Арсенид галлия, Карбид кремния, Магнетронное распыление, Жидкостная эпитаксия,
Отработаны технологии получения полупроводниковых материалов на основе монокристаллического и аморфного гидрогенизированного кремния, арсенида галлия, аморфного карбида кремния методами диффузии, термического отжига, жидкостной эпитаксии, магнетронного распыления. Изготовлены экспериментальные образцы полупроводниковых цветодатчиков на основе полупроводниковых материалов.
