Производство полупроводниковых сенсоров газа и индикационных устройств на их основе
Full Name of the work head: Поляков А.И.
Исполнители проекта: Д.М.Мухамедшина
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0201РК00812
Registration number: 0101РК00643
Keywords: Сенсоры газа, Магнетронное распыление, Тонкие пленки [электрон.], Полупроводники, Индикаторы бытового газа, Пленочные полупроводники,
Объект исследования: тонкие пленки оксида олова, осажденные магнетронным распылением на подложки из поликора в атмосфере аргона с примесью кислорода. Отработаны технологические операции изготовления и сборки полупроводниковых газовых сенсоров-индикаторов бытового газа. Создан макет прибора. Проведена сертификация опытной партии индикаторов.
