Изучение роли поверхностных и объемных процессов в формировании электрических характеристик тонкопленочных полупроводниковых структур и возможности их использования для создания новых сенсоров
Full Name of the work head: Карапатницкий И.А.
Исполнители проекта: Д.М.Мухамедшина
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0201РК00282
Registration number: 0101РК00064
Keywords: Полупроводники, Сенсоры, Газовые сенсоры, Тонкопленочные полупроводники,
Исследованы поверхностные и объемные процессы в тонкопленочных полупроводниковых структурах на основе диоксида олова. Газочувствительные пленки изготовлены методом магнетронного распыления. Показана возможность улучшения параметров сенсоров газа на основе пленок из диоксида олова.
