Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Изучение роли поверхностных и объемных процессов в формировании электрических характеристик тонкопленочных полупроводниковых структур и возможности их использования для создания новых сенсоров

Руководитель проекта: Карапатницкий И.А.
Исполнители проекта: Д.М.Мухамедшина
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0201РК00282
Регистрационный номер: 0101РК00064
Ключевые слова: Полупроводники, Сенсоры, Газовые сенсоры, Тонкопленочные полупроводники,