Отработана технология получения CoZnO наноструктур с различным фазовым и элементным составом с применением метода электрохимического осаждения с шаблонные матрицы заданной геометрией. Получены образцы CoZnO наноструктур с различным фазовым и элементным составом, проведена характеризация их свойств. Установлено, что изменение разности прикладываемых потенциалов приводит к формированию оксидной фазы в структуре нанопроволок при малых разностях потенциалов, что в свою очередь приводит к существенному искажению кристаллической решетки, однако снижение концентрации кислорода приводит к упорядочению кристаллической структуры и снижению деформаций.