Были синтезированы тонкие пленки на основе комплекса Zn1-xTixO с легированием титана на поверхность стеклянной подложки с модифицированным IDT электродом золота с помощью магнетронного напыления при высоком вакууме (5 мил. Торр). Были определены свойства чувствительности пленок Zn1-xTixO к газу CO2 при разных концентрациях (1-100 ppm) и температурных режимах 27-350℃. По итогам исследования, влияние различной концентрации (1-5%) титана и толщины (10-100 нм) нано-пленок на структуру базового элемента ZnO были изучены, и наиболее оптимальные соотношения легирования и толщины для чувствительных газовых сенсоров на основе Zn1-xTixO были 5% легирования титана и толщина нано пленки ~85 нм. По итогам работ, была опубликована статья выведаны наиболее оптимальные соотношения и компоненты для получения однородных нановолокон.