Исследование влияния физико-химических свойств аморфного кремния на спектры квантовой эффективности в фотопреобразователях на его основе
Full Name of the work head: Манаков С.М.
Исполнители проекта: Н.К.Кеншинбаев
: Каз. нац. техн. ун-т им. К.И.Сатпаева
Inventory number: 0200РК00867
Registration number: 0100РК00432
Keywords: пленки, аморфный, кремний, физико-химические, свойства, исследование,
Исследованы свойства, условия роста пленок аморфного гидрогенизированного кремния. Установлено влияние технологических параметров на свойства пленок, полученных методом магнетронного распыления. Разработано магнетронное устройство для получения однородных пленок -Si:Н электронного качества с высокой скоростью осаждения. Выявлена корреляция между геометрией магнетронной распылительной системы и свойствами пленок -Si:Н. Область применения: тонкопленочные солнечные элементы, фотодатчики.
