Процессы структурообразования и эволюции в тонкопленочных полупроводниковых средах
Жетекшінің аты-жөні, тегі: Сарсембинов Ш.Ш.
Work head: О.Ю.Приходько
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазГУ
Инвентарлық номер: 0200РК00844
Тіркелген номер: 0100РК00326
негізгі сөздер: полупроводниковые, тонкие, пленки, структурообразование, электронные, свойства, изучение,
Объект исследования: аморфные пленки халькогенидных стеклообразных полупроводников составов AsSe и As3Se2. Изучена взаимосвязь структуры и электронных свойств аморфных полупроводниковых пленок при переходе от замороженного детерминированного хаоса к упорядоченному состоянию. Установлено, что исходная структура пленок As-Se, полученных при переходе газ(пар) - твердая фаза, и их электронные параметры изменяются при термообработке. Характер эволюции оптических параметров и параметра среднего порядка атомной структуры пленок зависит от исходной структуры. Область применения: микроэлектроника.