Исследование влияния ближнего и среднего порядков на электронные процессы и фотоструктурные превращения в полупроводниках с неупорядоченной структурой
Full Name of the work head: Сарсембинов Ш.Ш.
Исполнители проекта: О.Ю.Приходько
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазГУ
Inventory number: 0200РК00814
Registration number: 0100РК00217
Keywords: полупроводниковые, пленки, микроструктура, электронные, процессы, исследование,
Объект исследования: аморфные пленки халькогенидных стеклообразных полупроводников составов AsxSe1-x (x=0,4; 0,5; 0,6). Изучены взаимосвязи атомной структуры (особенности ближнего и среднего порядка в расположении атомов), микроструктуры аморфных полупроводниковых пленок и условий конденсации атомов на подложку при их получении. Установлено, что аморфные пленки системы As-Se, полученные вакуум-термическим и ионно-плазменным методами, отличаются микроструктурой и параметрами ближнего и среднего порядка в расположении атомов r1, r2, nAs, nSe, L. Структурные состояния неупорядоченной системы различаются главным образом протяженностью областей среднего порядка. При более неравновесных условиях формирования твердой фазы получаются системы с большей степенью разупорядоченности структуры. Область применения: микроэлектроника.