Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка технологии получения пленок пористого кремния, монокристаллического арсенида галлия, алмазоподобных пленок углерода и создание приборных структур на их основе

Руководитель проекта: Таурбаев Т.И.
Исполнители проекта: Т.И.Таурбаев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазГУ
Инвентарный номер: 0200РК00379
Регистрационный номер: 0100РК00062
Ключевые слова: полупроводниковые, пленки, свойства, получение, технология,