Разработка методов получения тонких пленок и слоев оксидных полупроводников
Full Name of the work head: Орунханов М.К.
Исполнители проекта: Гриценко Л.В., Кумеков С.Е., Абдуллин Х.А. и др.
: Казахский национальный исследовательский технический университет им. К.И.Сатпаева
Inventory number: 0217РК02270
Registration number: 0115РК00882
Keywords: полупроводники*тонкие пленки
Исследованы морфология, фотолюминесценция, оптические и электрические свойства образцов. Отмечено, что максимальным пропусканием (90 %) обладают плҒнки с наибольшим содержанием примеси. Определены технологические условия направленного формирования слоев с необходимой морфологией. Предварительный отжиг в вакууме позволяет значительно улучшить электрические характеристики. Отработана технология осаждения прозрачных, однородных тонких плҒнок на основе оксидных полупроводников.
