ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка методов получения тонких пленок и слоев оксидных полупроводников

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Орунханов М.К.
Work head: Гриценко Л.В., Кумеков С.Е., Абдуллин Х.А. и др.
: Казахский национальный исследовательский технический университет им. К.И.Сатпаева
Инвентарлық номер: 0217РК02270
Тіркелген номер: 0115РК00882
негізгі сөздер: полупроводники*тонкие пленки