Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка методов получения тонких пленок и слоев оксидных полупроводников

Руководитель проекта: Орунханов М.К.
Исполнители проекта: Гриценко Л.В., Кумеков С.Е., Абдуллин Х.А. и др.
Организация: Казахский национальный исследовательский технический университет им. К.И.Сатпаева
Инвентарный номер: 0217РК02270
Регистрационный номер: 0115РК00882
Ключевые слова: полупроводники*тонкие пленки