Разработка ионно-плазменных технологий обработки материалов
Руководитель проекта: Кенжин Е.А.
Исполнители проекта: Жаканбаев Е.А.
Организация: Институт ядерной физики
Инвентарный номер: 0217РК01429
Регистрационный номер: 0115РК02268
Ключевые слова: плазменная обработка*ионно-лучевая обработка
Отработаны технологические режимы получения покрытий четверных нитридов. Определены структура и фазовый состав покрытий.