Разработка ионно-плазменных технологий обработки материалов
Full Name of the work head: Кенжин Е.А.
Исполнители проекта: Жаканбаев Е.А.
: Институт ядерной физики
Inventory number: 0217РК01429
Registration number: 0115РК02268
Keywords: плазменная обработка*ионно-лучевая обработка
Отработаны технологические режимы получения покрытий четверных нитридов. Определены структура и фазовый состав покрытий.
