Разработка технологии производства твердооксидных электролитов для высокоэффективных низкотемпературных топливных элементов
Full Name of the work head: Серикканов А.С.
Исполнители проекта: Бейсенов Р.Е., Умирзаков А.Г., Мереке А.Л., Ракыметов Б.А., Муратов Д.А.
: Физико-технический институт
Inventory number: 0217РК01556
Registration number: 0115РК02840
Keywords: тонкие пленки*топливные элементы
Проведена очистка держателя образцов и элементов вакуумной камеры от загрязнений предыдущих процессов напыления. Сфокусирован факел эксимерного лазера на керамическую мишень. Изучено влияние условий нанесения на структурные изменения в тонких пленках твердооксидного электролита. В качестве подложечного материала использована поликристаллическая никелевая фольга. Определены толщина и плотность осажденных пленок. Показано, что повышение энергии лазера приводит к образованию грубой поверхности с квазисферическими образованиями микронных размеров.
