Расчет новых схем анализаторов энергий вторичных электронов с улучшенными характеристиками
Full Name of the work head: Сидорович А.В.
Исполнители проекта: Саулебеков А.О.*Абдрахманов Н.Г.*Камбарова Ж.Т.
: Казахстанский филиал Московского государственного университета им. М.В.Ломоносова
Inventory number: 0217РК01046
Registration number: 0115РК01177
Keywords: энергоанализаторы*спектрографы*электронно-оптические системы
Исследованы аксиально-симметричные электростатические анализаторы энергий заряженных частиц. Проведен расчет и анализ электронно-оптических параметров электростатических гексапольно-цилиндрических и декапольно-цилиндрических энергоанализаторов потоков заряженных частиц. Предложен энергоанализатор, комбинированный из гиперболического и цилиндрического зеркал, изучена возможность его перевода в режим двойного спектрографа по энергии и углу. Рассчитаны новые анализаторы потоков заряженных частиц с высокими параметрами для экспрессного и информативного анализа поверхности твердого тела.
