Исследованы пленки карбида кремния, сульфида цинка, фторида магния, сформированные на поверхности солнечных элементов магнетронным распылением и электронно-лучевым испарением. Проведено осаждение просветляющих покрытий солнечных элементов. Выполнен анализ преимуществ и недостатков существующих просветляющих покрытий. Оптимальное просветляющее покрытие (карбид кремния) повышает эффективность солнечного элемента в 1,3 раза. Синтезированы нанокристаллические просветляющие покрытия ZnS и MgF[2] толщиной 43 и 62 нм соответственно. Синтезировано двухслойное просветляющее покрытие ZnS/MgF[2]. Фазовый состав слоев достоверно определен методом рентгеновской дифракции. Внедрен способ получения пленок SiC, ZnS и MgF[2].