Исследование структурно-физических свойств твердых пленок карбида кремния SiC[x] и карбонитрида кремния SiC[x]N[y], синтезированных ионно-лучевыми методами
Full Name of the work head: Габдуллин М.Т.
Исполнители проекта: Бейсенханов Н.Б.
: Казахстанско-Британский технический университет
Inventory number: 0217РК01361
Registration number: 0115РК02690
Keywords: тонкие пленки*наноструктурные материалы
В эпитаксиальных пленках SiС на поверхности с-Si ориентация (111), выращенных методом замещения атомов, обнаружена редкая гексагональная фаза 2Н-SiС, устойчивая в многослойной структуре. Осуществлен синтез пленок SiС[x] на поверхности с-Si при распылении мишеней кремния и графита в высокочастотном режиме. Быстрый отжиг в вакууме приводит к улучшению структуры пленки, формированию нанокристаллов. Предположено присутствие включений алмаза.
