ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка процессов формирования, управления размерами и формой металлических и полупроводниковых нанопреципитатов в слоях SiO[2] и SiN[x] на Si при облучении быстрыми тяжелыми ионами для систем опто- и наноэлектроники

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Сыдыков Е.Б.
Work head: Даулетбекова А.К., Жумадилов К.Ш., Акилбеков А.Т. и др.
: Евразийский национальный университет им. Л.Н.Гумилева
Инвентарлық номер: 0217РК01309
Тіркелген номер: 0115РК01384
негізгі сөздер: облучение материалов*полупроводниковые материалы*наноструктурные материалы