Разработка физических основ метрологического и нормативно-технического обеспечения единства измерений структур кристаллических материалов и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии
Full Name of the work head: Габдуллин М.Т.
Исполнители проекта: Алпысбаева Б.Е., Немкаева Р.Р., Заманбекова К.А. и др.
: Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа при КазНУ им. аль-Фараби
Inventory number: 0216РК01883
Registration number: 0115РК01335
Keywords: Наноматериалы*нанометрология*нанотехнология*эталон*стандартный образец
Представлен анализ погрешности измерений расстояний в наноматериалах с использованием методов сканирующей электронной и атомно-силовой микроскопии. Показано, что мера ширины и периода специальная МШПС-2.0 К может успешно применяться для анализа погрешности измерений расстояния в наноматериалах, а также контроля и калибровки электронного растрового микроскопа. Дано обоснование пространственного разрешения метода.
