Представлен анализ погрешности измерений расстояний в наноматериалах с использованием методов сканирующей электронной и атомно-силовой микроскопии. Показано, что мера ширины и периода специальная МШПС-2.0 К может успешно применяться для анализа погрешности измерений расстояния в наноматериалах, а также контроля и калибровки электронного растрового микроскопа. Дано обоснование пространственного разрешения метода.