Разработка методов получения тонких пленок и слоев оксидных полупроводников
Руководитель проекта: Орунханов М.К.
Исполнители проекта: Гриценко Л.В., Кумеков С.Е., Абдуллин Х.А. и др.
Организация: Казахский национальный исследовательский технический университет им. К.И.Сатпаева
Инвентарный номер: 0216РК01721
Регистрационный номер: 0115РК00882
Ключевые слова: оксидные полупроводники*золь-гель метод*гидротермальный синтез*прозрачные проводящие покрытия*тонкие пленки*солнечные элементы
Изучено влияние термической обработки и обработки в водородной плазме на оптические и электрические свойства проводящих слоев оксидных полупроводников. Отмечено, что вакуумный отжиг ведет к незначительному уменьшению коэффициента пропускания в видимой области спектра.