Разработка методов получения тонких пленок и слоев оксидных полупроводников
Full Name of the work head: Орунханов М.К.
Исполнители проекта: Гриценко Л.В., Кумеков С.Е., Абдуллин Х.А. и др.
: Казахский национальный исследовательский технический университет им. К.И.Сатпаева
Inventory number: 0216РК01721
Registration number: 0115РК00882
Keywords: оксидные полупроводники*золь-гель метод*гидротермальный синтез*прозрачные проводящие покрытия*тонкие пленки*солнечные элементы
Изучено влияние термической обработки и обработки в водородной плазме на оптические и электрические свойства проводящих слоев оксидных полупроводников. Отмечено, что вакуумный отжиг ведет к незначительному уменьшению коэффициента пропускания в видимой области спектра.
