Изучено влияние термической обработки и обработки в водородной плазме на оптические и электрические свойства проводящих слоев оксидных полупроводников. Отмечено, что вакуумный отжиг ведет к незначительному уменьшению коэффициента пропускания в видимой области спектра.
