Исследование структурно-физических свойств твердых пленок карбида кремния SiC[x] и карбонитрида кремния SiC[x]N[y], синтезированных ионно-лучевыми методами
Full Name of the work head: Бармагамбетов Б.З.
Исполнители проекта: Бейсенханов Н.Б.
: Казахстанско-Британский технический университет
Inventory number: 0216РК01570
Registration number: 0115РК02690
Keywords: Кремний*полупроводники*карбид кремния*плазма*фазовые превращения*ионная имплантация*ионно-лучевое распыление*магнетронное распыление
Исследованы состав, структура, оптические свойства тонких приповерхностных слоев кремния, карбида кремния и нитрида кремния. Модифицирована конструкция установки магнетронного распыления МАГНА-200 для распыления двухкомпонентной мишени из кремния и графита. Осуществлена разработка и монтаж высокотемпературной печи для синтеза и термической обработки материалов. Разработан нагреватель для высокотемпературной печи и осуществлена сборка блока управления РРГ для подачи газов. Выполнено моделирование и представлена модель многослойной структуры SiC с учетом наличия вакансий кремния.
