Исследованы состав, структура, оптические свойства тонких приповерхностных слоев кремния, карбида кремния и нитрида кремния. Модифицирована конструкция установки магнетронного распыления МАГНА-200 для распыления двухкомпонентной мишени из кремния и графита. Осуществлена разработка и монтаж высокотемпературной печи для синтеза и термической обработки материалов. Разработан нагреватель для высокотемпературной печи и осуществлена сборка блока управления РРГ для подачи газов. Выполнено моделирование и представлена модель многослойной структуры SiC с учетом наличия вакансий кремния.
