Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Исследование структурно-физических свойств твердых пленок карбида кремния SiC[x] и карбонитрида кремния SiC[x]N[y], синтезированных ионно-лучевыми методами

Руководитель проекта: Бармагамбетов Б.З.
Исполнители проекта: Бейсенханов Н.Б.
Организация: Казахстанско-Британский технический университет
Инвентарный номер: 0216РК01570
Регистрационный номер: 0115РК02690
Ключевые слова: Кремний*полупроводники*карбид кремния*плазма*фазовые превращения*ионная имплантация*ионно-лучевое распыление*магнетронное распыление