Исследование диффузионных барьеров для контактной системы солнечных батарей
Full Name of the work head: Бармагамбетов Б.З.
Исполнители проекта: Нусупов К.Х.
: Казахстанско-Британский технический университет
Inventory number: 0216РК01568
Registration number: 0115РК02689
Keywords: кремний*полупроводники*нитрид титана*диффузионный барьер*контактная система*солнечный элемент
Осуществлена модернизация установки магнетронного распыления МАГНА 200 с целью изменения режимов распыления и увеличения содержания азота в пленках нитрида титана. Сформированы тонкие слои силицидов титана в кремнии после осаждения тонких пленок титана и нитрида титана на поверхность кремния методом магнетронного распыления с последующим быстрым отжигом. Отработаны оптимальные режимы нанесения фоторезистивной маски и ее сушки, режимы длительности экспонирования и проявления, задубливания фоторезистивного слоя; режимы травления многослойных структур между проводящими дорожками химическими методами; режимы снятия фоторезистивной маски.
