Разработка технологии синтеза углеродных и кремневых наночастиц и наноструктурированных материалов из газовой фазы в ВЧЕР плазме
Full Name of the work head: Муратов М.М.
Исполнители проекта: Оразбаев С.А., Габдуллин М.Т.
: Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа при КазНУ им. аль-Фараби
Inventory number: 0216РК01497
Registration number: 0115РК00674
Keywords: Газофазное осаждение*наночастицы*пылевая плазма*высокочастотный газовый разряд
Определены оптимальные параметры газового разряда (мощность, давление газа в объеме, состав газа) для синтеза углеродных и кремниевых наночастиц и наноструктурированных композиционных материалов. Получены лабораторные образцы углеродных и кремниевых наночастиц и наноструктурированных композиционных материалов. Изучены механические и физические (структура, геометрические параметры, толщина, микротвердость, термостойкость, химический и фазовый состав), а также электрические свойства образцов. Выведены зависимости свойств углеродных и кремниевых наночастиц и наноструктурированных материалов от мощности разряда, давления газа в объеме, времени экспозиции и пропорций смесей газов.
