Определены оптимальные параметры газового разряда (мощность, давление газа в объеме, состав газа) для синтеза углеродных и кремниевых наночастиц и наноструктурированных композиционных материалов. Получены лабораторные образцы углеродных и кремниевых наночастиц и наноструктурированных композиционных материалов. Изучены механические и физические (структура, геометрические параметры, толщина, микротвердость, термостойкость, химический и фазовый состав), а также электрические свойства образцов. Выведены зависимости свойств углеродных и кремниевых наночастиц и наноструктурированных материалов от мощности разряда, давления газа в объеме, времени экспозиции и пропорций смесей газов.