Проведены рентгеноструктурные исследования полученных покрытий нитридов, установлены структура и фазовый состав полученных покрытий. Предложена инновационная технология формирования нанокристаллических покрытий из тройных нитридных систем, что позволит в совокупности разработать общие физические основы создания новых видов высокотвердых и износостойких защитных покрытий. Разработаны основы технологии получения тройных нитридных систем. Определен критический размер частиц металлов, при котором происходит термофлуктуационное плавление. Отработаны основные режимы получения тройных нитридных систем тугоплавких и переходных металлов. Исследован фазовый состав тройных нитридных систем.