Разработка научных и технологических основ синтеза наноструктурированных гидрогенизированных углеродных сред с нанокластерами некарбидообразующих элементов
Руководитель проекта: Габдуллин М.Т.
Исполнители проекта: Рягузов А.П., Алпысбаева Б.Е., Немкаева Р.Р.
Организация: Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа при КазНУ им. аль-Фараби
Инвентарный номер: 0216РК00863
Регистрационный номер: 0115РК00524
Ключевые слова: Пленки аморфного гидрогенизированного углерода*синтез*гибридизация*комбинированная мишень*нанокластер*ионноплазменное распыление*плазменно-усиленное химическое вакуумное осаждение
Объект исследования: аморфные гидрогенезированныые углеродные пленки, модифицированные нанокластерами олова, синтезированные магнетронным методом. Изучено влияние температуры подложки, удельной мощности ионно-плазменного разряда и нанокластеров олова на формирование структуры модифицированной углеродной пленки. Показана зависимость атомной структуры аморфной углеродной пленки от термодинамических и кинетических параметров синтеза и концентрации нанокластеров олова. При определенных условиях синтеза и концентрации олова возможно формирование алмазоподобной структуры с 60-80 %-ным содержанием sp гибридизированных связей в углеродной пленке. Внедрение нанокластеров олова может привести к изменению свойств углеродных пленок и самих металлических нанокластеров. При определенных условиях синтеза нанокластеры олова усиливают эффект фотолюминисценции.